半導體紫外線固化機
在半導體工業中,紫外線固化機通常對晶圓進行曝光。該半導體紫外線固化機至少包括一個用于承載晶圓的曝光透鏡和一個液體循環裝置,其中液體循環裝置在曝光期間在曝光透鏡和晶圓之間供應液體。其特征在于,半導體UVLED在曝光前,使用至少一個對準光源將UVLED對準所述載體,其中,對準光源具有特定的波長,以便在對準時對對準光源的影響**小。液體蒸發以防止液體影響所述對準操作。
原理和特點
半導體紫外線固化機的原理和特點。
1. 當半導體紫外線曝光機的LED達到一定亮度時,可以省電節能,降低成本。消耗的能量只有15瓦左右,而達到同樣亮度的常規燈管要消耗1500瓦的能量,即使與紫外鹵素燈相比也能節約80%的能量。
2. UV固化機的光不是紅外線加熱的,而且發出的熱量很低,所以不影響易受熱變形的介質(如泡沫板、鋁箔、PVC)的傳輸等。這使得介質的應用范圍更廣。
3. 響應時間快,不需要對UV固化機進行預熱,打開后能立即打印,從而提高了生產率。
4. 高安全性和穩定性。
UV噴墨印刷機的印刷質量與UV干燥和固化過程密切相關。半導體UV固化機的穩定性使得輸出能量可預測和穩定,因此印刷效果也可預測和穩定。
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